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VPS-RF80 真空等離子清洗機是一款針對實驗室需要專門開發的小型臺式等離子清洗機，處理室為圓筒形石英玻璃，處理器為電容耦合外電極型，內部無電極。

VPS-RF120 真空等離子清洗設備是一款針對實驗室需要專門開發的小型臺式等離子清洗機，處理室為圓筒形石英玻璃，處理器為電容耦合外電極型，內部無電極。

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VPS-RF60 中型真空等離子清洗機是一款針對實驗室需要專門開發的小型臺式等離子清洗機，處理室為圓筒形石英玻璃，處理器為電容耦合外電極型，內部無電極。